一、产品介绍
LY-350系列气体质量流量计/控制器，产品基于毛细管柱热式原理，主要用于对气体的质量流量进行精确测量和控制。350 系列气体质量流量控制器具有精度高、重复性好、响应速度快、稳定性好、工作压力范围宽、极低零漂等特点。模拟量和数字量等多种通讯方式可选 ，内置显示屏可选，操作配置灵活。
二、应用场景
该产品广泛应用于半导体制造、真空镀膜、特种材料学科、石油化工、医药、环保等行业的气流测量和控制。其典型的应用场合包括: 电子工艺设备, 如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入; 以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪、光谱仪、质谱仪及其它分析仪器。
三、产品参数
| 主要参数 SENSOR AND CONTROL PERFORMANCE | |
| 介质要求 Applicable Media | 洁净干燥气体 Clean, dry gases |
| 气体种类 Gas Type | 90+ Available for 90+types of gas |
| 量程 Full cale (N2 equivalent) | 0-2, 10, 20, 50, 100, 200 sccm; 0-1, 2, 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200 slpm |
| 测量范围 Measurement range | 0.5% F.S. (1:200) |
| 控制范围 Control range | 1% - 100% F.S. (1:100) （MFC） |
| 准确度 Accuracy | ±0.35% F.S. (<35% FS.) ， ± 1.0% S.P. (≥35% F.S.）或0.5%F.S.取最优 |
| 重复精度 Repeatability | ±0.2% F.S. |
| 线性度 Linearity | ±0.2% F.S. |
| 控制响应时间 Typical control response time | <1 秒 |
| 预热时间 Warm-up time | 5 min (T95),30分钟最佳 30min for optimum accuracy |
| 阀门 Valve function | 常闭式 Normally Closed |
| 泄漏率 Leak integrity | 1*10-10 Pa*m³/sec He |
| 分辨率 Resolution ratio | 0.001sccm |
| 机械特性 MECHANICAL | |
| 耐压 Maximum Pressure | 3 MPa (30bar) |
| 工作压差范围 Operating differential pressure | 0~1 MPa |
| 工作温度范围 Operating temperature range | -20～65℃ (环境和气体 ambient and gas) |
| 湿度范围 Relative humidity range | 0~98%无凝露No - condensing |
| 气路接头类型 Process connections | 卡套、快拧、VCR(Compression fitting, Push-in fitting, , VCR optional) |
| 气体接触材质 Material | FKM、316 不锈钢 (FKM 316 Stainless steel) |
| 密封材质 Seals | FKM ，FFKM |
| 防护等级 Ingress protection (housing) | IP40 |
| 安装方式 Mounting | 水平安装方向校准 Calibrated in horizontal mounting orientation |
| 固定孔 Mounting holes | M4 ↧ 5mm |
| 重量 Weight | 0.84 kg (MFM) / 0.98 kg (MFC) |
| 电气和通讯 COMMUNICATIONS | |
| 电气连接接口类型 Electrical connection | DB-9 公头 (Male) |
| 模拟信号 Analog input and output options | 0- 5 V DC, 4- 20mA (可定制) |
| 输入输出阻抗 Impedance resistance | 输入阻抗>10MΩ , 输出阻抗<400Ω |
| 数字信号 Digital input and output options | Modbus RTU (RS232, RS485), CAN, EtherCat |
| 电源 Power requirements | 15-40 VDC, <200mA |
| 显示更新频率 Display update rate | 50 Hz |
| 模拟信号精度 Analog signal accuracy | ±0.02% F.S. |
| 特征 FEATURES | |
| 标况 STP reference conditions | 20℃(可设置), 1 atm |
| 气体选择 Gas Select | 可选 ，具体参考说明书气体系数 |
| 软件 Software | Aitoly 分阶流量软件 |
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